陈进一想到张云似乎并非技术工程师的身份,还是耐心的解释了:
它的曝光波长达到了28纳米,采用沉浸式光刻技术。
配合我们自研的双工作台系统,每小时能完成120片晶圆的曝光作业,套刻精度控制在3纳米以内
它的光源系统用了我们自己研发的准分子激光器,稳定性比进口设备提升了15。
当然,和国际顶尖的5纳米光刻机比,还有差距。
但这已经是我们目前能拿出的最好成果了。
目前,我们还在集中攻克7纳米制程的量产问题。”
陈进一的话有些无奈,龙国的半导体行业,尤其是光刻机技术还是太落后了些。
谁都知道半导体领域想要突破,内核中的内核就是光刻机。
如今龙国大部分高端芯片,都需要依赖进口生产。
而且存在技术专利的问题,每年都要花上一大笔授权费用。
眼前这台机子已经是好几年前的产物了,光是7纳米级别的生产就已经卡了他们许多年。
张云听完后,紧接着问道:
“它在七纳米以下的制程上有什么问题吗?”
陈进一没想到他会直接问出这个问题,愣了一下才回答:
“问题还不少,主要是在多重曝光的叠加误差上。
duv的波长是193n,从根本上限制了分辨率的理论上限。
目前28纳米波长要实现7纳米制程,需要进行4次曝光。
但每次曝光的定位误差会累积,目前最多只能稳定在9纳米左右,离量产要求的7纳米还有距离。”
严正行听到这里,叹了口气,心里摇了摇头。
这就是他当初为什么离开龙国的原因了。
和世界顶尖的光刻机相差数代的技术,要怎么靠努力去追赶?
但靠张云可以呀!
张云等人此次前来的目的,自然是为了解决芯片生产问题,使其能够在战备状态下提供应有的支持。
不过张云还没有天真到,认为能花几个月时间就造出一台超越euv光刻机的东西。
虽然张云的脑中确实有全套光刻机的生产技术。
但还是那个问题,技术消化也需要时间。
即使拥有全套 euv技术图纸和原理知识,并得到国家最高权力的全力支持。
想在两、三个月内从零打造出一台可用的euv光刻机,仍然是近乎不可能完成的任务。
原因在于euv光刻机的制造不仅是技术问题,也是极端精密制造,全球顶级供应链集成和复杂系统工程的巅峰体现。
老爱曾经说过,逻辑只能让你从a到b,但想象力可以带你到任何地方。
三个月,你就想走在世界前列,这个想象力需要带着物理课本一起飞。
那真不如去抢算了。
其实原本张云提出的打算是,让国家干脆派一支秘密部队抢了asl,直接解决所有问题!
这家破公司可是一台euv都没卖给咱们。
那天他还因为这件事情,和邱将军聊了很长时间。
邱老爷子甚至差一点就要被张云说服了。
毕竟等到末世降临,谁还管什么仁义道德。
不过最终方案没有达成,龙国还是太讲武德了些。
那怎么办呢?
张云很快提出了b方案,高效,快捷,而且合法!
虽然是不抢了,但我们可以换呀。
张云提出的第二个方案,其实邱将军也是万分不情愿。
甚至想要赶紧让人限制张云的行动,千万不能让他跟海外有所连络。
这个方案就是,张云打算将更先进的光刻机光源系统卖给asl公司,用以购买实体光刻机全套!
对于张云来说,他最宝贵也是最不值钱的,便是脑海中那万千的先进知识。
能够拿出一点,来换取实质性的物品对他来说是非常划算的。
因为他们现在最缺的不是知识,而是时间!
在参观的差不多了之后,众人又回到了会客厅。
张云冲着严正行使了个眼色,对方心领神会,说道:
“魏总,陈工,接下来我们要开展的项目,需要贵公司全力配合。”
“当然没问题,您尽管说。”
魏天华满脸笑意。
“简单说,就是以严某的名义,在海微的技术基础上,研发一套全新的光刻机光源系统。”
话音刚落,陈劲刚已从公文包中取出几份文档,推到魏天华面前:
“这是保密协议,涉及国家最高级别的技术机密。”
“签署之后,海微的中心实验室将由我们全权接管。”
“原有科研团队可保留辅助岗位,但重点研发局域仅限指定人员进入。”
魏天华拿起协议,仔细看了看,上面好几个公章都不简单,心中突然一紧。
他原以为只是引进技术专家和研发资金,最多是成立个专项课题组。
没想到会上升到“全权接管实验室”的地步。
这已经不是合作,更象是一场由国家主导的神密研究。
“这……陈科长。”
魏天华咽了口唾沫,说:
“中心实验室是我们海微的命根子,里面还有好几台正在调试的28纳米光刻机样机……”
“请问这接管的范围是?”
陈劲刚解释:
“协议里写得很清楚,从签署这一刻起,实验室进入最高保密状态!”
“所有进出人员需经过双重核验,通信设备一律不准带入。”
“内部数据只许在物理隔离的局域网内流转。”
“实验室所有设备、原材料、甚至供电系统都将纳入统一调度。”
“魏总放心,国家会按市场价对占用的资源进行补偿。”
“项目结束后,实验室原貌归还,期间产生的所有技术专利,海微可共享使用权。”
这时,一直沉默的陈进一忍不住开口:
“严博士,您刚才说的新型光源系统……到底是什么技术路线?”
duv的极限陈进一可太清楚了,难道是……euv?
可他们连最基础的高能激光等离子体光源都没摸透啊?
严正行看向张云,见对方微微点头,才缓缓说道:
“比euv更先进,具体原理现在没法多说,但可以透个底。。”